BWC DualVee?真空滾輪是一種90°精密研磨表面的線性導向軸承，適用于真空環(huán)境直線運動系統(tǒng)。這些滾輪由適用于真空環(huán)境的AISI440C和304不銹鋼以及油脂制成，能夠承受高達10^{-9 mbar}的超高真空度?？砂惭b在AISI303DualVee?襯套上，并在90° AISI 420導軌上運行，單件導軌的長度可達20英尺（6米以上），提供兩種尺寸規(guī)格，徑向和軸向的最大承載能力分別為1855N和440N。潤滑脂為Lubcon Ultratherm 2000超高真空潤滑脂。

1. 采用高等級不銹鋼原材料

真空環(huán)境不允許使用任何多孔性材料，例如，樹脂、塑料和燒結(jié)材料等，這些多孔性材料在真空環(huán)境中會釋放出氣體。不銹鋼在真空環(huán)境中不會釋放氣體，是一種清潔和不具有腐蝕的原材料，適用于真空環(huán)境的高清潔度應用要求。我們選用了高等級不銹鋼，在高溫工作環(huán)境下也不會軟化。

2. 表面淬硬

采用高等級不銹鋼為原材料，并且對于導軌和滾輪中的所有運動接觸面都進行了精良的表面淬硬處理。這樣可以保證在運動的過程中不會產(chǎn)生疲勞剝落，防止破壞真空環(huán)境。

3. 滾輪特殊加工工藝

滾輪側(cè)面的緊固螺釘上加工了排氣通路，讓滾輪軸承內(nèi)部不存在可以殘留氣體的死角。這樣，在抽真空的時候，所有內(nèi)部的氣體，都可以通過緊固螺釘上的排氣通路被抽掉。

此外，六滾輪滑臺也是該產(chǎn)品的一個獨特的優(yōu)勢。在該類系統(tǒng)中，兩根導軌在一條直線上，但是沒有拼接在一起，導軌之間留有比較大的縫隙，六滾輪滑臺可以在這兩根導軌之間自由往返。這種設計使得往真空倉里運送零件非常容易，滑臺可以從真空倉外面的導軌平穩(wěn)過渡到真空倉內(nèi)的導軌上。由于兩根導軌之間有縫隙，這樣就可以把真空倉的門緊緊關上，實現(xiàn)氣密的目的。滾輪之間的距離稍微比導軌之間的縫隙大一些，這樣的話，滑臺經(jīng)過縫隙的時候，始終有兩組滾輪和導軌接觸，保證了滑臺的穩(wěn)定性和順利通過。

對于超高真空應用環(huán)境，我們的不銹鋼滾輪導軌系統(tǒng)可以完全不需要潤滑而順暢運行。滾輪的直徑范圍為18-54mm，單個滾輪的承載能力為180-4200N。

主要應用

半導體晶圓制造設備、航天零件加工設備、氣相沉積設備、LCD液晶板生產(chǎn)設備、真空蒸鍍系統(tǒng)等等